熱門關(guān)鍵詞:
寬帶光源 激光器 電光調(diào)制器 光放大器 高速光通信 光電探測(cè)器
產(chǎn)品中心
20W EUV光源

激光驅(qū)動(dòng)白光光源

用于HVM的的EUV光源的一大優(yōu)勢(shì)就在于可以在10 kHz或更高的脈沖重復(fù)頻率下運(yùn)行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等特點(diǎn),加之采用Z-pinchM技術(shù),非常適用于計(jì)量以及研究等應(yīng)用。
主要特征 
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產(chǎn)品特點(diǎn)
-獨(dú)特的無(wú)電極Z-Pinch技術(shù)〔(專利正在申請(qǐng)中)低電極碎巴/低成本
典型應(yīng)用
-符合CE和SEMI S2-0715標(biāo)準(zhǔn)
產(chǎn)品特征
·小型緊湊性價(jià)比高占地面積小