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MEMS振鏡

MEMS振鏡控制器

微型,高性能,電磁驅(qū)動(dòng)的二維激光掃描MEMS振鏡 S13989-01H是電磁驅(qū)動(dòng)振鏡,結(jié)合了我們獨(dú)特的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)。通過(guò)將磁鐵布置在振鏡下方,可以使設(shè)備占地空間更小。通過(guò)采用氣密密封包裝,可實(shí)現(xiàn)高可靠性。振鏡周圍的線圈中流動(dòng)的電流根據(jù)弗萊明定律驅(qū)動(dòng)振鏡產(chǎn)生洛倫茲力。濱松MEMS反射振鏡具有大的光學(xué)偏轉(zhuǎn)角和高反射鏡反射率。
主要特征 
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產(chǎn)品特點(diǎn)
·低電流運(yùn)行
典型應(yīng)用
﹒超小型尺寸
產(chǎn)品特征
·較大的光學(xué)偏轉(zhuǎn)角
標(biāo)準(zhǔn)模塊光學(xué)參數(shù)
類型 For 2-dimensional scan
掃描模式 2-axis raster scan
運(yùn)行模式 Fast axis: Non-linear mode (resonant mode) Slow axis: Linear mode
振鏡尺寸 1.23 mm
振鏡材料 Aluminium
光學(xué)偏轉(zhuǎn)角 Fast axis: 主20° Slow axis: ±12
驅(qū)動(dòng)頻率(最大值) Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz