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集成式MEMS振鏡
MEMS振鏡控制器
直徑高達2.4毫米的集成MEMS振鏡是單片制造的，作為無萬向節(jié)執(zhí)行器設備結構的集成部分。它們是硅芯片的中心區(qū)域，與周圍的靜電致動器共享相同的微細加工步驟。這些鏡子由相同的可用硅層構成，具有幾乎完全平坦和光滑的硅表面。在四個側面，鏡子連接到提供兩軸運動的雙軸連桿。自2016年以來，我們不斷庫存具有以下直徑的集成反射鏡的設備:0.8毫米、1.2毫米、2.0毫米和2.4毫米。所有庫存的集成反射鏡都涂有純鋁，可在非常寬的波長范圍內提供高反射率。金金屬化可以在晶圓規(guī)模上進行，因此可用于更大的生產訂單。
主要特征 
返回列表頁標準模塊光學參數(shù)
| 型號/系列 | 機械偏轉角[°] | 磨具尺寸[mm] | 振鏡直徑[mm] |
|---|---|---|---|
| A3I8.2-800AL | ±6 | 4.25 x 4.25 | 0.8 |
| A7M8.1-800AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 0.8 |
| A7M10.2-1000AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 1 |
| A3112.2-1200AL | ±5 | 4.25 x 4.25 | 1.2 |
| F1M16.2-1600AL | ±4.5 | 5.20 x 5.20 | 1.6 |
| A7M20.2-200OAL | ±5 | 5.20 x 5.20 | 2 |
| A5M24.3-2400AL | ±5 | 7.25 x 7.25 | 2.4 |
